میکروسکوپ الکترونی روبشی SEM
توسعه تاریخی میکروسکوپ الکترونی روبشی SEM توسعه میکروسکوپ الکترونی روبشی را می توان به کار نول در سال 1935 در طی مطالعاتش در مورد انتشار الکترون ثانویه از سطوح ردیابی کرد. در سال 1938، یک میکروسکوپ الکترونی روبشی مناسب برای نمونه های شفاف توسط فون آردن ساخته شد. در سال 1942، زووریکین، هیلیر و اسنایدر …